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本產(chǎn)品面向狹小安裝空間與高集成化應用場景開發(fā)，可滿足半導體設備微振動檢測、穩(wěn)定平臺閉環(huán)控制等嚴苛工況需求。產(chǎn)品基于高靈敏度 MEMS 傳感技術(shù)，可精準采集低頻微弱振動信號，支持輸出 VC 振動曲線與PSD功率譜密度分析結(jié)果，為振動敏感工況環(huán)境提供高可靠性的數(shù)據(jù)支撐。